Enjeniere sambu na mission-}}}}}}}}40 .4-DOF ya kifu ya ngolona nzila ya XYZ-axis lufutu ya kukatuka na kisika ya nzila (±0,4 μm resolution) mpe Z{2}}axis lufutu ya rotation ya angular (±1,2 arc-}}}}ana). Sisteme yai ke katulaka bifu ya positionnement cumulative na ba-semi-conducteur ya ke fwaka, baselile ya ke vukisaka bima na meso, mpi bima ya nkaka ya bo ke salaka na ba apareyi ya kimunganga kisika yina thermique ya ke tambulaka na tiya mpi ya ke tambulaka ke bebisaka mutindu yo ke salaka.
Kubasikamekanisme ya flexion activeke vukisaka ba actuateurs ya bobine ya ndinga ti preaload-}}ana les ligne paralelogrammes, .30% ya ntangu ya kuyidika mambukuluta ba nzila ya nkaka ya piezoelectrique. Ba sensors interférométriques intégrés ke pesaka 10nm real-}}} du temps, na ntangu zero-}CTE base ya ceramique ke taninaka ±0,07μm/ degré ya stabilité thermique na ba cycles ya 48-heures ya kusala.Kuzikisa micron-} ya nivo na bisalu ya kukotisa bima ya sikisiki (±5μm ya kuvutukila), yina kele mfunu sambu na micro-}}LLED pick-} mpi{2}}}} ya kisika mpi ya fibre optique ya kuvukisa.
Mambote ya Teknolozi ya Core
Hystérése-}: Ya kukonda mbongo ya kufuta mbongo ya nzila mosi
Ba 150 μm ya bifu na nzila ya 500Hz ya mpa.
Kukabula ya Vibration active
Kukulumusa amplitude na 18dB (5-200Hz).
Multi- Reférence ya kutala mambu
Kundimisa kisika na konso 0,2ms na nzila ya triangulation laser.
ISO 230-2/SEMI S22 Kongo .
Bo me pesaka nswa ya kusala banzo ya bunkete ya Classe 10.
Kumonisama na zulu ya zulu-}}ele
Semiconducteur ya kufwa
Kulungisa ±3μm ya sikisiki ya kutula na 12 000 UPH.
Kuyidika mambu na mutindu ya optique
Kutanina 0,005 degrés ya kukanga ntima na ntangu ya kubelula UV.
Lukutakanu ya Ndongisi ya Katetere ya Kimunganga
Tula bima ya 0,3mm ti ±5μm ya kuvutukila.
Paquet de sénsor quantum
Kutanina 0,8μm ya coplanarité na nsi ya kunikana ya 10kHz.
E nsunzula ya EtherCAT ya module isadisanga .<250μs synchronization with robots. Hermetic gold-plated connectors exceed MIL-STD-202H specifications, while mu-metal shielding blocks EMI up to 200MHz. NIST-traceable calibration ensures 99.5% measurement confidence over 5-year service life.
Lomba unité de démo ya ofelesambu na kundimisa mutindu A{0}} Series ba modules ke kumisaka mingi mbutu ya ba semi-conducteurs na 22% mpi ke kulumusaka ntalu ya bima yina bo ke sadilaka sambu na kuvukisa bima na 65%.
Tags ya tiya: unit ya kufuta, Chine muntu ya ke salaka bima ya kufuta, ba fournisseurs, izine .
